Wenn das „unbewaffnete“ menschliche Auge an seine Grenzen stößt, stellen hochauflösende Lichtmikroskope und das Rasterelektronenmikroskop (REM) ein unentbehrliches Hilfsmittel dar.

Oft sind Einschlüsse, Beläge oder Fehler nur bei hohen Vergrößerungen oder mit speziellen Beleuchtungstechniken erkennbar. Im Digitalmikroskop können dank Softwareunterstützung tiefenschärfenoptimierte Aufnahmen (zusammengesetzte Bilder aus mehreren Einzelbildern verschiedener Schärfeebenen) oder Aufnahmen aus unterschiedlichen Winkeln erstellt werden.

(Licht)optisch gleich aussehende Materialien und Rückstände stellen sich im Elementkontrast des REM unter Umständen völlig anders dar. Neben der elektronenoptischen, bildgebenden Analyse kann mittels energiedispersiver Röntgenfluoreszenzanalyse (EDX) die Elementzusammensetzung punktgenau bestimmt werden. Bei dünnen Rückständen ist ferner eine Abschätzung der Schichtdicke möglich.

Es sind u. a. folgende Untersuchungen möglich: